ダイヤモンドナイフのイオンビーム加工
書誌事項
- タイトル別名
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- Ion beam processing of diamond knife
抄録
ダイヤモンドは先端が微小なバイト、ナイフや探針などの超精密工具の材料として利用されている。本研究ではダイヤモンドのイオンビーム加工速度の入射角度依存性のデータを用いてイオンビーム加工後のダイヤモンドナイフの先端の形状の予測について検討した。その結果、Ducommunの式を利用し、ダイヤモンドの先鋭化や形状の微細化についての検討できることが分かったので、これについて報告する。
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2007S (0), 827-828, 2007
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205652819456
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- NII論文ID
- 130005028732
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可