すきま理論に基づくラッピングシミュレーション

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タイトル別名
  • Lapping Simulation Calculated with the Gap Theory

抄録

ラッピングのシミュレーションに関する研究は古くからいくつか行われているが、種々の形状をもつ定盤や試料に対する研究はほとんど行われていない。本研究では、研磨シミュレーションにおけるポリシャと試料間に生じるすきま理論をラッピングに適用するために、すきまと砥粒径の関係から圧力分布を推定し、ラッピング過程をシミュレートして円形ガラスを逆円錐状定盤を用いてラップした実験結果と比較·検討する。

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205653006208
  • NII論文ID
    130005027427
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2006s.0.469.0
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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