すきま理論に基づくラッピングシミュレーション
書誌事項
- タイトル別名
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- Lapping Simulation Calculated with the Gap Theory
説明
ラッピングのシミュレーションに関する研究は古くからいくつか行われているが、種々の形状をもつ定盤や試料に対する研究はほとんど行われていない。本研究では、研磨シミュレーションにおけるポリシャと試料間に生じるすきま理論をラッピングに適用するために、すきまと砥粒径の関係から圧力分布を推定し、ラッピング過程をシミュレートして円形ガラスを逆円錐状定盤を用いてラップした実験結果と比較·検討する。
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2006S (0), 469-470, 2006
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205653006208
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- NII論文ID
- 130005027427
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可