非球面計測における干渉技術の新展開（キーノートスピーチ）

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抄録

近年、デジタルカメラや光ディスクなどに使用される非球面レンズの多くは、精密金型による成型技術で大量生産されており、レンズ製造プロセスにフィードバックできる面領域データ（３次元データ）が求められている。 面領域の計測ニーズに適応した、Zygo社の走査型フィゾー干渉の技術と、表面性状を含む微小領域の計測ニーズの対応した走査型白色干渉の技術は、非球面の高精度計測のための新展開である。

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  • CRID
    1390001205653102208
  • NII論文ID
    130005027737
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2007a.0.109.0
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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