Evaluation of Measurement Accuracy in Aspherical Measurement by Multi Zone Interfere Scanning
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- Suzuki Hirofumi
- Kobe University
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- Kinoshita Takahiko
- Kobe University
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- Satoh Atsushi
- CANON Marketing Japan
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- Matsumoto Hideyuki
- CANON Marketing Japan
Bibliographic Information
- Other Title
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- マルチゾーン干渉計走査法による非球面形状測定法における測定精度の評価
Abstract
これまでの非球面測定は微小な触針を用いた接触式の測定法が主に用いられてきた.しかし,プローブの精度や接触圧の変化に測定精度が依存するなどの問題点があった.それに対して,マルチゾーン干渉計走査法による非球面形状測定法における測定ではそれらの影響を受けないと考えられる.そこで,様々な非球面形状の金型を測定することにより,従来の接触式測定法と精度の比較を行ったので報告する.
Journal
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- Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
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Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2007A (0), 125-126, 2007
The Japan Society for Precision Engineering
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205653134080
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- NII Article ID
- 130005027746
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- Data Source
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- JaLC
- CiNii Articles
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- Abstract License Flag
- Disallowed