Evaluation of Measurement Accuracy in Aspherical Measurement by Multi Zone Interfere Scanning

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  • マルチゾーン干渉計走査法による非球面形状測定法における測定精度の評価

Abstract

これまでの非球面測定は微小な触針を用いた接触式の測定法が主に用いられてきた．しかし，プローブの精度や接触圧の変化に測定精度が依存するなどの問題点があった．それに対して，マルチゾーン干渉計走査法による非球面形状測定法における測定ではそれらの影響を受けないと考えられる．そこで，様々な非球面形状の金型を測定することにより，従来の接触式測定法と精度の比較を行ったので報告する．

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  • CRID
    1390001205653134080
  • NII Article ID
    130005027746
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2007a.0.125.0
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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