マイクロ超音波センサにおけるダンピングホールの最適設計

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  • The optimal design of the dumping hole in a micro ultrasonic sensor
  • マイクロ チョウオンパ センサ ニ オケル ダンピングホール ノ サイテキ セッケイ

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本研究は,送受兼用可能なコンデンサ型マイクロ超音波センサの製作を目的とし,ダンピングホールの最適設計を行う.今回,ダンピングホールの大きさと個数により超音波センサが受ける影響についてFEM解析を用いて検討した.その結果,大きさと個数の変化に対し減衰比が反比例することが分かった.現在,この結果に基づき,理想的な減衰比1/√2を持つ試作デバイスの作製を行っている.

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