高速エアースピンドルに組み込んだ能動動圧軸受による微少位置決め

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タイトル別名
  • Positioning of high-speed air-bearing spindle using active aerodynamic bearing incorporated

抄録

本研究では小径回転工具を用いた超精密加工に用いる高速・高精度エアースピンドルの開発を目的としている．開発目標性能は，回転数120,000min-1(2kHz)おける軸振動の全振幅が0.1m以下である．この目標達成のため，静圧エアースピンドルに能動動圧軸受を組み込んだハイブリッド軸受システムを提案し，これまでにスピンドルの試作と種々の実験を重ねてきた．このたびは回転数18,000min-1(300Hz)における位置決め実験の結果を報告する。組み込まれた能動動圧軸受にステップ位置決め指令を与えた結果、軸位置をナノメートルレベルの分解能で制御できることがわかった。この位置決め機能により工具の微少切り込みが可能になると考えられる。

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205654317568
  • NII論文ID
    130004660375
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2011a.0.693.0
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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