ラップ用定盤の溝がスラリー挙動に与える影響
書誌事項
- タイトル別名
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- Effect on slurry actions in groove of lapping plate
抄録
ラッピング加工においてスラリーは加工部に連続供給されることが重要である．このため，ラップ用定盤にはスラリーの均一供給を促す溝が加工されているが，溝がスラリー挙動に与える影響は明らかにされていない．そこで，本報告では上定盤を可視化してラッピングすることにより，交差する溝の角度がスラリー挙動に与える影響について観察を行い，考案した溝形状のスラリー挙動について検討した結果を述べる．
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2011A (0), 768-769, 2011
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205654448896
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- NII論文ID
- 130004660417
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可