Effect on slurry actions in groove of lapping plate

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  • ラップ用定盤の溝がスラリー挙動に与える影響

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ラッピング加工においてスラリーは加工部に連続供給されることが重要である．このため，ラップ用定盤にはスラリーの均一供給を促す溝が加工されているが，溝がスラリー挙動に与える影響は明らかにされていない．そこで，本報告では上定盤を可視化してラッピングすることにより，交差する溝の角度がスラリー挙動に与える影響について観察を行い，考案した溝形状のスラリー挙動について検討した結果を述べる．

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  • CRID
    1390001205654448896
  • NII Article ID
    130004660417
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2011a.0.768.0
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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