砥粒の滞留性に着目した高機能ラップ定盤の開発
書誌事項
- タイトル別名
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- Development of high-performance lapping plate by improving stagnation of abrasives
抄録
ガラスやサファイアなどの機能性材料のラッピング加工における研磨特性の向上を目的に、砥粒の滞留性に着目した研磨定盤の開発を行った。砥粒の滞留性は定盤表面の構造やスラリーに対する親和性が影響する。そこで、表面の親水性を高める処理をした研磨定盤を製造し、研磨特性を評価した。また、金属繊維を焼結した定盤をラップ工具に用いた。これらにより従来のラップ定盤よりも高い研磨特性が得られたので報告する。
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2013A (0), 247-248, 2013
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205655016192
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- NII論文ID
- 130004661124
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可