異方性エッチングによる規則的マイクロテクスチャ面の創成
書誌事項
- タイトル別名
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- Generation of Regular Micro Texture Surface Using Anisotropic Etching
説明
高さが数μm程度で代表寸法が数μmの単位規則形状が規則的に配列したマイクロテクスチャ表面は,MEMSにおける摺動面の摩擦制御,光の特定波長反射面などさまざまな応用が期待できる．本研究では,SiO2あるいはSi3N4薄膜付きの単結晶Si基板について,薄膜をマスクとし,液相エッチングを用いて容易に任意の規則的マイクロテクスチャ面を得る手法を検討した．
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2011A (0), 363-364, 2011
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205655209984
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- NII論文ID
- 130004660192
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
