Development of the Simulation Method for the Sandblasting of Micro Support Pin.

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  • マイクロサポートピンのためのサンドブラスト加工シミュレーション法の開発

Abstract

半導体製造装置でウエハを固定するピン（マイクロサポートピン）をサンドブラスト加工で製造したいニーズがある。所望の形状を得るには、シミュレーションの導入が不可欠だが、現在サンドブラスト加工をシミュレーションする適切な方法が存在しない。本研究では、流体解析ソフトとZmapモデルを組み合わせることにより、マイクロサポートピンを製造するためのサンドブラスト加工のシミュレーション法の基礎的機能を開発した。

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Keywords

Details 詳細情報について

  • CRID
    1390001205655727104
  • NII Article ID
    130005031033
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2012s.0.1101.0
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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