サファイアのメカニカルポリシングにおけるスラリーフローの定量評価
書誌事項
- タイトル別名
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- Evaluation of Slurry Flow in Sapphire-Mechanical Polishing
- Effect of Platen Surface Texture on Slurry Flow
- スラリーフローに及ぼす定盤表面性状の影響
抄録
本研究ではサファイアのメカニカルポリシングにおけるスラリーフローの定量評価を通じて，各種研磨条件がスラリーフローと研磨特性に与える影響の解明を目的とする．本報告では，銅定盤とダイヤモンドスラリーによるメカニカルポリシングにおいて，銅定盤の表面粗さと濡れ性がそれらに与える影響を検討した結果を述べる．
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2013S (0), 625-626, 2013
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205655857664
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- NII論文ID
- 130005031905
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可