ダブプリズムを用いた接触画像解析法に基づくポリシングパッド表面性状の定量評価手法の開発に関する研究

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Development of Evaluation Method of Pad Surface Characteristics Based on Contact Image Analysis Using Image Rotation Prism
評価パラメータ値と研磨結果の相関関係

本研究ではダブプリズムを用いた接触画像解析法に基づくポリシングパッド表面性状の定量評価手法の確立を目的とし，接触率や空間FFT等を評価パラメータとして検討している．本報告では修正リング型研磨装置を用いて，特に実験条件の違いによる表面性状変化について検討した結果を示す．