Decrease of Thermal Expansion of Ball Screw used for Precision Positioning Devices by Peltier Module Cooling

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  • ペルチェモジュールによりフィードバック冷却する精密位置決め装置の精度向上
  • ボールねじの熱膨張低減

Description

一軸の精密位置決め装置において、ボールねじの熱膨張量を計測し、ペルチェモジュールを用いたフィードバック冷却により熱膨張を補正した。テーブル速度100mm/sにおいて、熱膨張量をねじ軸端で測定した場合、非冷却時では8μｍ熱膨張しているボールねじを、ペルチェ冷却によりその熱膨張量を1μｍ以下にすることができた。その結果、ステージの位置決め誤差も向上した。

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1390001205656308864
  • NII Article ID
    130004660640
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2012a.0.27.0
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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