参照平板の横シフトおよび逐次二点法を用いた真直度輪郭測定
書誌事項
- タイトル別名
-
- A novel sequential two-point method for straightness profile measurement based on a laterally sift
- Measurement uncertainty analysis of level meter
- 水準器に起因する測定不確かさの検討
抄録
本研究は，新たな二点法を利用して平坦面である定盤の真直度輪郭を高精度に測定することを目的としている．本測定法は，ソフトウェアデータムを利用して，実体基準および被測定面の真直度輪郭を同時に測定し，既知となった実体基準との比較測定およびスティッチングによって，測定範囲を拡大するものである．問題点に水準器の不確かさにより放物線状の誤差が生じることがあったが，本稿ではこの誤差を補正する方法を提案した．
収録刊行物
-
- 精密工学会学術講演会講演論文集
-
精密工学会学術講演会講演論文集 2013S (0), 939-940, 2013
公益社団法人 精密工学会
- Tweet
キーワード
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1390001205656490752
-
- NII論文ID
- 130005032080
-
- 本文言語コード
- ja
-
- データソース種別
-
- JaLC
- CiNii Articles
-
- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可