非リンギング方式によるゲージブロックの次世代校正方法（第3報）
書誌事項
- タイトル別名
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- New calibration system for interferometric measurement of gauge blocks without wringing onto a platen (3rd report)
- Measurement of reference gauge block for gauge block comparator
- コンパレータ校正用ゲージブロックの測定
説明
ゲージブロック（以下GB）の組み合わせを用いた基準器として，コンパレータ校正用マスタがある．このマスタは2つのGBにおける中央寸法差の差などが正確に値付けされ，主にGBコンパレータの校正に用いられる．このマスタの値付けは現状の基準面へのリンギングを用いたGB測定方法では高精度測定が難しかった．そこで開発した非リンギング方式のGB干渉計により，現状の方式に比べ簡便かつ高精度な測定を実現した．
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2010S (0), 401-402, 2010
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205656819328
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- NII論文ID
- 130004659706
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
