Development of the innovative CMP/P-CVM combined apparatus (8th report)

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  • 革新的CMP/P-CVM融合装置の設計・試作（第8報）
  • 基本型装置（A型）によるダイヤモンド加工の基礎検討

Abstract

高能率な除去加工が可能な大気圧プラズマエッチング(P-CVM)と平坦化性能に優れるCMPを組み合わせ、SiCやGaN、ダイヤモンドといった難加工材料に対して、高能率な平坦化加工を目指すCMP/P-CVM融合加工法を開発してきた。本発表では、基本型装置を用いたこれまでのSiCの加工結果を総括するとともに、最終ターゲットであるダイヤモンドを用いて行った予備実験の結果について報告する。

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  • CRID
    1390001205656998912
  • NII Article ID
    130005486835
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2015a.0_463
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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