革新的CMP/P-CVM融合装置の設計・試作(第2報)
-
- Shiozawa Kousuke
- Department of Precision Science & Technology
-
- Sano Yasuhisa
- Department of Precision Science & Technology
-
- Doi Toshiro
- Art, Science and Technology Center for Cooperative Research
-
- Kurokawa Shuhei
- Art, Science and Technology Center for Cooperative Research
-
- Aida Hideo
- 並木精密宝石
-
- Miyashita Tadakazu
- 不二越機械工業
-
- Sumizawa Haruo
- 不二越機械工業
-
- Yamauchi Kazuto
- Department of Precision Science & Technology
Bibliographic Information
- Other Title
-
- 基本型融合加工装置(A-type)とその基本特性
Abstract
大気圧下でのプラズマエッチングであるPCVM(Plasma Chemical Vaporization Machining)は,加工変質層を選択的にエッチングする特性を有する.被加工物表面凸部に加工変質層を形成する機械加工部と,その層を高能率に除去するPCVM部から成る基本型CMP/PCVM融合装置を試作し,両者の融合により被加工物表面の段差解消能力が向上する可能性を見出した結果について報告する.
Journal
-
- Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
-
Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2014S (0), 273-274, 2014
The Japan Society for Precision Engineering
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1390001205658825856
-
- NII Article ID
- 130005478820
-
- Text Lang
- ja
-
- Data Source
-
- JaLC
- CiNii Articles
-
- Abstract License Flag
- Disallowed