全反射ミラーを用いた高分解能かつ色収差のない結像型X線顕微鏡の開発

DOI
  • 松山 智至
    大阪大　工学研究科　精密科学・応用物理学専攻
  • 安田 周平
    大阪大　工学研究科　精密科学・応用物理学専攻
  • 山田 純平
    大阪大　工学研究科　精密科学・応用物理学専攻
  • 佐野 泰久
    大阪大　工学研究科　精密科学・応用物理学専攻
  • 香村 芳樹
    理化学研　放射光科学総合研究センター
  • 矢橋 牧名
    理化学研　放射光科学総合研究センター
  • 石川 哲也
    理化学研　放射光科学総合研究センター
  • 山内 和人
    大阪大　工学研究科　精密科学・応用物理学専攻

書誌事項

タイトル別名
  • 様々な観察法への応用

抄録

高精度なX線全反射ミラーを4枚用いて，高分解能かつ色収差のない結像型X線顕微鏡を開発した．本顕微鏡の実用性を確かめるために，蛍光X線イメージング，暗視野イメージング，位相イメージングを実施した．暗視野イメージングでは，後焦点位置にナイフエッジを挿入した．位相イメージングでは，位相回折格子を用いたタルボ効果を利用した．ポリスチレン球や金属微粒子，テストチャートの観察について詳細に報告する．

収録刊行物

キーワード

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205659103232
  • NII論文ID
    130006044077
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2017s.0_957
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

問題の指摘

ページトップへ