Wafer Level Casting法向けレンズアレイウェハ用精密成形装置の開発

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タイトル別名
  • Development of Precision Molding Machine for Lens Array Wafer using Wafer Level Casting Method

抄録

Wafer level casting法は光学レンズの新しい製造方法として注目されている．今回，熱硬化樹脂を用いてWLC法向けのレンズアレイウェハを成形するための成形装置の試作を行なった．本研究では，成形装置の性能評価としてレンズアレイウェハの成形試験を行ない，形状再現性およびレンズの偏芯の推移について評価を行なったので報告する．

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205659775744
  • NII論文ID
    130005486515
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2015s.0_871
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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