高速マルチワイヤーソーによるSiCインゴットの高速切断
書誌事項
- タイトル別名
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- High-Speed Slicing of SiC Ingot by High-Speed Multi Wire Saw
説明
高品質・低コストの大口径SiCウェハの実現に向けて、高能率かつ高精度の切断加工技術の開発が求められている。切断速度と切断精度はトレードオフの関係にあるが、本研究ではワイヤーソーの高線速化を実現し、４インチの単結晶SiCインゴットに対して切断時間が４時間（６インチのインゴットを９時間で切断する速度に相当）にも関わらず、切断ウェハのSORIが約２５μmという高速・高精度切断加工を実現した。
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2014A (0), 751-752, 2014
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205660060288
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- NII論文ID
- 130005479693
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可