Low pressure metalorganic vapor phase epitaxial growth and characterization of ZnSexTe1-x films.
Bibliographic Information
- Other Title
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- 減圧有機金属気相成長法によるZnSexTe1-xの作製と評価
Abstract
ZnSexTe1-x はSe組成によってバンドギャップを2.0eV~2.7eVまで変えることができる混晶半導体材料である。本研究では原料としてジメチル亜鉛, ジエチルセレン(DESe),ジエチルテルル(DETe)を用いて減圧有機金属気相成長法により(001)ZnTe基板上に390℃と低い基板温度でZnSexTe1-x膜を成長させた。DESeはDETeに比べて熱分解効率が低いので,高いSe組成を有するZnSexTe1-x 膜の成長にはDETe供給量に比べてDESeのそれを非常に大きくする必要があった。ZnSexTe1-x 膜の低温フォトルミネッセンススペクトルにはSe組成に応じて特徴のある発光ピ-クが見出され,発光ピ-クエネルギ-はSe組成に対しZnSexTe1-xのバンドギャップと同じように極小傾向を示した。
Journal
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- Record of Joint Conference of Electrical and Electronics Engineers in Kyushu
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Record of Joint Conference of Electrical and Electronics Engineers in Kyushu 2015 (0), 451-451, 2015
Committee of Joint Conference of Electrical, Electronics and Information Engineers in Kyushu
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205663730048
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- NII Article ID
- 130006356424
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- CiNii Articles
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- Abstract License Flag
- Disallowed