ナノ電子ビームによるワイゼンベルグRHEED法の開発
書誌事項
- タイトル別名
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- Development of Nano-beam Weissenberg RHEED
説明
ワイゼンベルグRHEEDは、表面構造を解析する有力な手法であるが、試料を回転する必要があるために、微小領域や局所構造の解析は困難であった。今回は、試料の任意の位置を軸にして高精度で回転可能なマニピュレータを作成することで、ナノ電子ビームを用いて微小領域の構造解析が行える装置を開発した。今回開発した装置を使用した試験結果を報告する。<br>
収録刊行物
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- 表面科学学術講演会要旨集
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表面科学学術講演会要旨集 36 (0), 248-, 2016
公益社団法人 日本表面真空学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205677805056
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- NII論文ID
- 130005175708
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可