Dependence of ion scattering on the surfaces work function

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  • 物質表面におけるイオン散乱の仕事関数への依存性

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材料表面加工等に用いられる負イオンを生成し、その生成効率を見積もる測定系を立ち上げた。正負イオンと電子を弁別するために静電場および磁場を用い、チャンネルトロンで検出したイオンのパルス信号をカウントした。Arイオンをターゲットに約1mA/m^2 照射したところ、散乱されたイオンは10^5カウント/秒程度で検出された。講演ではイオンを照射する表面の仕事関数 を変化させた時の結果も発表する。

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1390001205677884672
  • NII Article ID
    130005489115
  • DOI
    10.14886/sssj2008.35.0_132
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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