MgO(100)基板とスパッタ成膜したFe薄膜との界面におけるFeの化学状態評価
書誌事項
- タイトル別名
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- Chemical state analysis of iron at interface between sputter-deposited iron layer and MgO (100) substrate
抄録
多くの研究者によってトンネル磁気抵抗(TMR)素子の研究がなされ、TMR素子の作製・実験を行われている。しかし、多くの場合、絶縁物層と磁気電極層との界面において意図したトンネル結合が実現できていないため、理論的に予言されているTMR値に比べて著しく小さい素子しか得られていない。我々は、提唱されているTMR構造の一つであるFe/MgO/Fe構造に注目し、MgOとFeの界面におけるFeの化学状態をAESによって解明した。その結果、界面においてFeは金属状態ではなく、Fe-Mg-Oの酸化物を形成して存在することがわかった。
収録刊行物
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- 表面科学学術講演会要旨集
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表面科学学術講演会要旨集 28 (0), 105-105, 2008
公益社団法人 日本表面真空学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205678546304
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- NII論文ID
- 130004673894
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可