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The performance of a sample transfer vessel with a battery drive ion pump
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- KOBAYASHI Eiichi
- Kyushu Synchrotron Light Research Center
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- TANAKA Shukichi
- National Institute of Information and Communications Technology
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- OKAJIMA Toshihiro
- Kyushu Synchrotron Light Research Center
Bibliographic Information
- Other Title
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- 電池駆動式イオンポンプを適用した試料搬送導入装置の性能
Description
表面分析において，大気暴露による表面汚染の問題は深刻である．この問題を回避するため，真空中に試料を封じ込め，装置間を移送するための試料搬送導入装置の開発が行なわれている．しかし，超高真空の実現には大型の電源であったり，常時真空引きができないなどの問題がある．今回，電池駆動可能な小型の超高真空イオンポンプと組み合わせた可搬型超高真空試料搬送導入装置を開発した．その特徴や性能について報告する．
Journal
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- Abstract of annual meeting of the Surface Science of Japan
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Abstract of annual meeting of the Surface Science of Japan 35 (0), 72-, 2015
The Japan Society of Vacuum and Surface Science
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205679029120
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- NII Article ID
- 130005489581
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- Data Source
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- JaLC
- CiNii Articles
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- Abstract License Flag
- Disallowed