硬X線光電子分光（HAXPES）による元素組成の定量的評価法の検討
書誌事項
- タイトル別名
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- Quantitative study on elemental composition analysis using hard X-ray photoelectron spectroscopy (HAXPES)
説明
非破壊で固体内部の情報が得られる新たな表面分析法として注目を集めているHAXPESについて、元素組成の定量的評価法の確立に向けて検討を始めた。元素組成の規定された窒化ガリウム系試料を用いて、HAXPESによる高い定量性が初めて示された。また、光電子の発生角度分布において、他グループ（吉川ら）の報告と同様に軟X線使用時とは異なる傾向が見られた。さらに、今回電子準位による違いも確認された。
収録刊行物
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- 表面科学学術講演会要旨集
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表面科学学術講演会要旨集 32 (0), 173-, 2012
公益社団法人 日本表面真空学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205679338496
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- NII論文ID
- 130005456487
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
