Recent Applications of Auger Electron Spectroscopy

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  • オージェ電子分光法の最近の活用事例

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AESとXPSは，どちらも表面から深さ数nmの領域を分析する表面分析手法である。しかし、XPSは多くの有機・無機試料に対して幅広く活用されているのに対して、AESは導体試料に対する元素分析や面分析といった限定的に用いられることが多い。最近では、AESにおける絶縁物分析の方法も確立され、AESを使った化学状態分析も実用的なレベルになってきた。本講演では、最近のAESの活用事例を紹介するとともに、AES分析の可能性について述べる。

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  • CRID
    1390001205679838464
  • NII Article ID
    130005175855
  • DOI
    10.14886/sssj2008.36.0_93
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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