極低加速電圧SEMによる材料観察の進展

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  • SEM

抄録

100V程度以下まで加速電圧を低くできる極低加速走査顕微鏡（ULV-SEM）の開発により、従来のSEMの限界を越える試料表面観察か可能となってきた（nmレベルの極表面観察、前処理をしない絶縁物観察、表面形状以外の情報観察（化学状態、組成、結晶構造））。さらに、従来の空間分解をはるかに超える30nm程度のEDX分析やEBSP解析も可能となった。本報告ではこのようなULV-SEMの特徴と、実際材料への応用事例について示す。

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205680101632
  • NII論文ID
    130004674267
  • DOI
    10.14886/sssj2008.29.0.61.0
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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