Development of Glass GEM
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- Mitsuya Yuki
- School of Engineering, The University of Tokyo
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- Fujiwara Takeshi
- School of Engineering, The University of Tokyo
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- Takahashi Hiroyuki
- School of Engineering, The University of Tokyo
Bibliographic Information
- Other Title
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- Glass GEMの開発
Abstract
GEMはマイクロパターンガス検出器として広く知られている。本研究では、感光性のガラス基板を用いてフォトリソグラフィにより微細な孔を多数作ったGlass GEMを試作し、その性能の調査を行った。
Journal
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- Proceedings of Annual / Fall Meetings of Atomic Energy Society of Japan
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Proceedings of Annual / Fall Meetings of Atomic Energy Society of Japan 2012s (0), 96-96, 2012
Atomic Energy Society of Japan
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205723746432
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- NII Article ID
- 130007034870
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- CiNii Articles
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- Abstract License Flag
- Disallowed