622 SiC単結晶インゴットの切断におけるクーラントの研究(WS-1 クーラントおよび代替技術,ワークショップ(WS))

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• CRID

  1390001205852762624

• NII論文ID

  110009961292

• DOI

  10.1299/jsmekansai.2013.88._6-25_

• ISSN

  24242756

• Web Site

  https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmekansai/2013.88/0/2013.88__6-25_/_pdf

• 本文言語コード

  ja

• データソース種別

  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles