X線トポグラフィによる転位の同定(<特集>ダイヤモンド成長)

  • 加藤 有香子
    独立行政法人産業技術総合研究所 ダイヤモンド研究ラボ
  • 梅沢 仁
    独立行政法人産業技術総合研究所 ダイヤモンド研究ラボ
  • 鹿田 真一
    独立行政法人産業技術総合研究所 ダイヤモンド研究ラボ

書誌事項

タイトル別名
  • X-ray Topographic Observations of Dislocations in Diamond(<Special Issue>Diamond Growth)
  • X線トポグラフィによる転位の同定
  • Xセン トポグラフィ ニ ヨル テンイ ノ ドウテイ

この論文をさがす

抄録

X線トポグラフィによる転位評価は,ダイヤモンド単結晶基板にとっては十分広い観察視野(〜100mm幅)と転位種の同定が可能という特長をもつ.ダイヤモンド基板やエピタキシャル層中の転位分布像の撮影や各転位の種類を特定できるので,ダイヤモンドパワーデバイスと結晶品質の相関を議論するのに必要不可欠な実験手法である.本稿では,今,改めてダイヤモンドの転位評価が必要になった理由として,ダイヤモンドパワーデバイスの背景を紹介すると共に,X線トポグラフィの測定手順及び実際のデータとして,Ib型HPHTダイヤモンド,IIa型HPHTダイヤモンド,Ib型HPHTダイヤモンド上に成長させたp型CVDダイヤモンドの3種類を紹介する.

収録刊行物

参考文献 (26)*注記

もっと見る

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ