イリジウム下地表面への選択成長法を用いたヘテロエピタキシャルダイヤモンドの作製 : 高品質ダイヤモンド実現に向けた取り組み(<特集>ダイヤモンド成長)

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タイトル別名
  • Growth of Heteroepitaxial Diamond on Iridium by Patterned Nucleation and Growth Method(<Special Issue>Diamond Growth)
  • イリジウム下地表面への選択成長法を用いたヘテロエピタキシャルダイヤモンドの作製(高品質ダイヤモンド実現に向けた取り組み)
  • イリジウム シタジヒョウメン エ ノ センタク セイチョウホウ オ モチイタ ヘテロエピタキシャルダイヤモンド ノ サクセイ(コウヒンシツ ダイヤモンド ジツゲン ニ ムケタ トリクミ)

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抄録

イリジウム下地表面への選択成長法を用いたヘテロエピタキシャルダイヤモンド膜の作製と高品質化について,同方法を用いたダイヤモンドの配向性向上と格子欠陥の低減に関する取り組みについて紹介する.また,同方法を用いた大面積ヘテロエピタキシャルダイヤモンド基板の作製と,同基板を用いた応用展開に関する将来展望を紹介する.

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