書誌事項
- タイトル別名
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- Diamond Crystal Growth : Present Status and Perspective for Power Device Applications(<Special Issue>Diamond Growth)
- ダイヤモンド結晶成長 : パワーデバイス応用への現状と課題
- ダイヤモンド ケッショウ セイチョウ : パワーデバイス オウヨウ エ ノ ゲンジョウ ト カダイ
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抄録
ダイヤモンド半導体は,パワーデバイス応用に最も適した材料である.しかし,ドナー,アクセプタ不純物,無欠陥,無結晶丘の大面積ウエファー単結晶などの解決すべき結晶成長の課題が残されている.特に欠陥や結晶丘の生成機構や成長表面の機構は明らかになっていない.しかし高濃度の正孔チャンネルが熱的安定化できるようになり,デバイス特性はようやく実用水準に達した.
収録刊行物
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- 日本結晶成長学会誌
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日本結晶成長学会誌 39 (4), 158-163, 2013
日本結晶成長学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205897716992
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- NII論文ID
- 110009578684
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- NII書誌ID
- AN00188386
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- ISSN
- 21878366
- 03856275
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- NDL書誌ID
- 024259331
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可