ダイヤモンド薄膜の気相合成 : III. 新素材の利用技術

書誌事項

タイトル別名
  • Vapor Deposition of Diamond Film
  • ダイヤモンド薄膜の気相合成
  • ダイヤモンド ハクマク ノ キソウ ゴウセイ

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収録刊行物

  • 日本機械学会誌

    日本機械学会誌 90 (821), 457-462, 1987

    一般社団法人 日本機械学会

被引用文献 (1)*注記

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