書誌事項
- タイトル別名
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- 136 Clarification and Control of the Multiple factors for the Long-term Reliability of the Sub-micro-size Copper Thin-film Interconnections
収録刊行物
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- 東北支部総会・講演会 講演論文集
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東北支部総会・講演会 講演論文集 2016.51 (0), 69-70, 2016
一般社団法人 日本機械学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205942638336
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- NII論文ID
- 110010044806
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- ISSN
- 24242713
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- Crossref
- CiNii Articles