5a-T-13 シートプラズマ・ガス直交系によるラジカルの生成と電子速度分布関数の測定

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タイトル別名
  • 5a-T-13 Production of Radicals in a Sheet Plasma with vertical gas flow system and measurement of the elctron distribution function

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001206162468736
  • NII論文ID
    110001990993
  • DOI
    10.11316/jpsgaiyoj.1994.4.0_214_1
  • ISSN
    24331171
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles

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