塩化第二鉄液によるエッチング加工

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  • Chemical Machining by Ferric Chloride Etchant
  • 塩化第2鉄液によるエッチング加工
  • エンカ ダイ 2 テツ エキ ニ ヨル エッチング カコウ

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抄録

The photochemical machining of metals using a ferric chloride etchant is useful for producing micro machining parts and electronic parts such as printed circuit boards, shadow masks for CRT devices, IC lead frames etc. This paper presents the outlines of their examples of products, photo etching processes, photoresist materials for etch mask, machining accuracy, etchant composition, etching mechanism and characteristic phenomena.

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