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- 岩田 誠一
- 株式会社日立製作所中央研究所
書誌事項
- タイトル別名
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- Corrosion of LSI Metallization Materials
- LSIヨウ デンキョク ハイセン ザイリョウ ノ フショク
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説明
記事分類: 電気工学--電子工学--集積回路
収録刊行物
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- CORROSION ENGINEERING
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CORROSION ENGINEERING 35 (11), 656-661, 1986
社団法人 腐食防食協会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001206259370880
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- NII論文ID
- 130004731820
- 130006025039
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- NII書誌ID
- AN00225595
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- ISSN
- 18841155
- 00109355
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- NDL書誌ID
- 3105105
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles