光硬化性ホウケイ酸塩系薄膜材料の作製と微細構造形成

  • 井原 梨恵
    大阪府立大学大学院工学研究科・物質化学専攻・マテリアル工学分野 日本学術振興会
  • 高橋 雅英
    大阪府立大学大学院工学研究科・物質化学専攻・マテリアル工学分野

書誌事項

タイトル別名
  • Synthesis of Photo-curable Borosilicate Thin-film Material and Fabrication of Microstructure
  • ヒカリ コウカセイ ホウケイ サンエンケイ ハクマク ザイリョウ ノ サクセイ ト ビサイ コウゾウ ケイセイ

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抄録

Photo-curable organoborosilicate glasses were synthesized through a catalyst- and solvent-free and non-aqueous alcohol condensation process at low temperature below 100°C. Formation of Si-O-B linkage was confirmed by IR spectra. After irradiation of UV-light, we have successfully cured the prepolymer coatings into prepared transparent and homogeneous thin film. A refractive index of the thin film of B(OH)3: 3-Methacryloxypropyltrimethoxysilane=1:1 composition was measured by a prism coupling method n=1.515 at 633 nm. Moreover, pencil hardnesses according to JIS5400 of photo-cured thin film before and after heat treatment at 550°C were 6H and over 10H, respectively. We demonstrated fabrication of microstructures on transparent thin film by embossing process followed by photo curing.

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参考文献 (20)*注記

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