近接場光学顕微鏡でどこまで高分解能像が得られるか? (1)

  • 大津 元一
    東京工業大学大学院総合理工学研究科 神奈川科学技術アカデミー・フォトン制御プロジェクト

書誌事項

タイトル別名
  • Realizing Ultrahigh Resolution in a Near-Field Optical Microscope.

抄録

エバネッセント場を利用した近接場光学顕微鏡の原理,基本構成について概説する。特にエバネッセント場のもつ二つの基本的性質(物質寸法依存のパワー局在,プローブ・試料の寸法に関する共鳴)について述べ,これをもとに分解能はプローブ先端の寸法が決めることなどについて指摘する。微小なプローブを作成する技術,プローブ位置を制御する方法などを述べる。

収録刊行物

  • 表面科学

    表面科学 17 (12), 771-774, 1996

    公益社団法人 日本表面科学会

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