レイリー型表面弾性波を用いた液相系センサーの動作特性

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  • Electrical Properties of Liquid Phase Sensor Using Rayleigh Type Surface Acoustic Wave
  • レイリーカタ ヒョウメン ダンセイハ オ モチイタ エキソウケイ センサー ノ ドウサ トクセイ

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抄録

A surface acoustic wave (SAW) is a wave propagating in which the wave energy concentrates on the piezoelectric material surface. Among various surface wave modes, Rayleigh wave radiates a wave along to surface. Thus, surface sensitive monitoring is expected especially in liquid/solid interface. In this study, the device of which a grooved glass is placed on the propagation path of Rayleigh wave are fabricated and demonstrates the sensing properties to detect the mass concentration of glycerin, alcohols and NaCl in a liquid.

収録刊行物

  • 表面科学

    表面科学 35 (6), 319-323, 2014

    公益社団法人 日本表面科学会

参考文献 (1)*注記

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