球面収差補正器を搭載したSTEMによる原子分解能二次電子像

  • 稲田 博実
    (株)日立ハイテクノロジーズ 科学・医用システム事業統括本部
  • 田村 圭司
    (株)日立ハイテクノロジーズ 科学・医用システム事業統括本部
  • 鈴木 裕也
    (株)日立ハイテクノロジーズ 科学・医用システム事業統括本部
  • 佐藤 高広
    (株)日立ハイテクノロジーズ 科学・医用システム事業統括本部
  • 今野 充
    (株)日立ハイテクノロジーズ 科学・医用システム事業統括本部
  • 中村 邦康
    (株)日立ハイテクノロジーズ 科学・医用システム事業統括本部
  • ZHU Yimei
    Brookhaven National Laboratory Upton

書誌事項

タイトル別名
  • Atomic Resolution Secondary Electron Imaging with Aberration Corrected Scanning Transmission Electron Microscope
  • キュウメン シュウサ ホセイキ オ トウサイ シタ STEM ニ ヨル ゲンシ ブンカイノウ ニジ デンシゾウ

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抄録

We innovated the secondary electron (SE) imaging technology with an aberration-corrected scanning transmission electron microscope (STEM). As a result, atomic resolution SE imaging has been achieved for the first time. We have successfully observed isolated single uranium atoms on carbon thin films using the SE signal. In addition, atomic-resolutionSE images were obtained not only from specimens containing heavy elements like uranium but also from those composed of light elements such as silicon and carbon. Because the SE signals are from the upper surface of specimen, imaging atomic lattice for thick specimens of 1 µm was demonstrated. This unique technology provides unprecedented application capabilities including 1) simultaneous atomic-resolution SE/STEM imaging to reveal topographical surface and bulk structure ; 2) simplified specimen preparation requirement for atomic-resolution electron microscopy ; and 3) imaging atomic structure for thicker than 1 µm specimens without having to use a million volt electron microscope.

収録刊行物

  • 表面科学

    表面科学 34 (5), 247-252, 2013

    公益社団法人 日本表面科学会

参考文献 (42)*注記

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