陽極酸化ポーラスアルミナにおける細孔ナノ形状の制御と応用

  • 益田 秀樹
    東京都立大学大学院工学研究科応用化学専攻 神奈川科学技術アカデミー
  • 柳下 崇
    神奈川科学技術アカデミー
  • 西尾 和之
    東京都立大学大学院工学研究科応用化学専攻 神奈川科学技術アカデミー

書誌事項

タイトル別名
  • Control of Nanohole Shapes of Anodic Porous Alumina and Its Applications
  • ヨウキョク サンカ ポーラスアルミナ ニ オケル サイコウ ナノ ケイジョウ ノ セイギョ ト オウヨウ

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抄録

Anodic porous alumina, which is formed by anodization of Al in an appropriate acidic solution, has recently attracted increasing attention as a key material for fabrication of functional nanodevices due to its naturally occurring self-ordered structure. We describe here the fabrication of the anodic porous alumina with modified pore shapes and its applications for template processes. Highly ordered anodic porous alumina with square and triangular cross sections were prepared based on the control of the initiation site of the hole development. The preparation of initiation sites for the hole development was carried out by imprinting Al using a mold with a patterned array of convexes. The obtained anodic porous alumina with modified pore shapes is useful as templates for the fabrication of several types of nanostructures.

収録刊行物

  • 表面科学

    表面科学 25 (5), 260-264, 2004

    公益社団法人 日本表面科学会

被引用文献 (8)*注記

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参考文献 (35)*注記

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