光走査用Ｔｂ‐Ｆｅ超磁歪合金薄膜の磁気特性

DOI Web Site 被引用文献4件 参考文献6件
  • 門脇 睦
    東海大学大学院工学研究科金属材料工学専攻
  • 竹内 光明
    東海大学大学院工学研究科応用理学専攻
  • 松村 義人
    東海大学大学院工学研究科応用理学専攻 東海大学工学部応用理学科エネルギー工学専攻
  • 西 義武
    東海大学大学院工学研究科金属材料工学専攻 東海大学工学部材料科学科

書誌事項

タイトル別名
  • Magnetic Characteristics of Tb-Fe Giant Magnetostrictive Alloy Thin Film for Optical Scanner

抄録

An optical scanner consisting of a unimorph giant-magnetostrictive Tb-Fe alloy film was prepared by DC magnetron sputtering. The Tb-Fe alloy film was deposited onto a polyimide substrate and an Al thin film on the untreated surface of the polyimide substrate served as a reflecting mirror. Optical scanning characteristics of the device were examined by a bending cantilever method using a He-Ne LASER under a magnetic field. The device showed reflection angle displacement of 1.3 degrees of along the x axis and 1.6 degree along the y axis at 1100 kA/m. An applied magnetic field in range from 20 to 500 kA/m reproducibility produces a reversible linear displacement. Based on the results, the Tb-Fe alloy film device could be applied as an optical sensor.

収録刊行物

  • 日本金属学会誌

    日本金属学会誌 68 (2), 126-129, 2004

    公益社団法人 日本金属学会

被引用文献 (4)*注記

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参考文献 (6)*注記

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