シリコンエピタキシャル成長層内の積層欠陥の観察

書誌事項

タイトル別名
  • Observations of Stacking Faults in Epitaxial Silicon
  • シリコンエピタキシャル セイチョウソウ ナイ ノ セキソウ ケッカン ノ カンサツ

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収録刊行物

  • 日本金属学会誌

    日本金属学会誌 28 (7), 431-432, 1964

    公益社団法人 日本金属学会

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