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- 菅井 秀郎
- 名古屋大学工学部
書誌事項
- タイトル別名
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- Formation and Application of Hard Carbon Films
- コウシツ タンソ ハクマク ノ ケイセイ ト オウヨウ
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抄録
Recent development of hard carbon films formed by discharge decomposition of hydrocarbon gases has been reviewed. The correlation of deposition conditions to film properties and structures are presented, in view of diamond film synthesis and carbon coating of the first wall of fusion devices.
収録刊行物
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- 核融合研究
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核融合研究 57 (6), 412-419, 1987
社団法人 プラズマ・核融合学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001206512401024
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- NII論文ID
- 130001407703
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- NII書誌ID
- AN00039568
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- ISSN
- 18849571
- 04512375
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- NDL書誌ID
- 3157999
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可