溶媒アニールによるブロック共重合体薄膜中のミクロ相分離構造の垂直配向化

書誌事項

タイトル別名
  • Solvent Annealing Induced Perpendicular Orientation of Microdomains in Block Copolymer Thin Films
  • ヨウバイ アニール ニ ヨル ブロック キョウ ジュウゴウタイ ハクマク チュウ ノ ミクロソウ ブンリ コウゾウ ノ スイチョクハイコウカ

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抄録

幾つかのブロック共重合体(BCP)薄膜に形成するシリンダー状およびラメラ状ミクロ相分離構造の垂直配向化について溶媒アニール法を用いて実験を行った.主成分の選択溶媒を用いた溶液からスピンキャストにより薄膜(膜厚500 nm–1 µm)を作製し,薄膜中に球状ミクロ相分離構造を凍結させた状態にした.続いて,BCPの共通両溶媒飽和蒸気に試料を曝す(溶媒アニール)ことにより安定な相分離構造への転移を誘起させた.BCPの両成分に対してより選択溶解性のないニュートラルな溶媒蒸気を用いると,シリンダー状およびラメラ状ミクロ相分離の垂直配向化が効果的に起こることがわかった.

収録刊行物

  • 高分子論文集

    高分子論文集 71 (3), 104-111, 2014

    公益社団法人 高分子学会

参考文献 (31)*注記

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