天井面給排気による局所流量バランス方式クリーンルームに関する研究 : 第1報-模型実験による流れ場・拡散場の検討

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タイトル別名
  • Study on Flow and Diffusion Field of Clean Room with Locally Air-balanced Supply-exhaust Ventilation System installed at Ceiling : Part 1-Flow Visualization with Laser Light Sheet and Measurement of Flow Characteristics
  • 天井面給排気による局所流量バランス方式クリーンルームに関する研究-1-模型実験による流れ場・拡散場の検討
  • テンジョウメン キュウハイキ ニ ヨル キョクショ リュウリョウ バランス ホ

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抄録

天井面に給排気口を設置した局所流量バランス方式クリーンルームは,局所的に給気と排気をバランスさせ,室内全体にわたる大きな循環流形成を抑える.この局所的に閉じた流れ場の形成により,汚染質拡散を従来型の壁面排気方式のものに比べて,ある程度限定させることができる.本研究では,模型実験によりこの天井面給排気による局所流量バランス方式クリーンルームに関して,(1)局所的な給排気バランスを可能な限りとった場合,(2)室内に気流障害物がある場合,(3)気流単位の給排気バランスが大きく崩れた場合のそれぞれに関し,汚染質拡散が限定される効果を確認した.なお本検討では,室内の換気効率を示す指標として,発生汚染質の各排気口での排出分担の割合を示す汚染質排出分担率を用いた.

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