白色光の干渉を利用した非接触膜厚計

  • 吉崎 修
    小西六写真工業株式会社工学技術研究所
  • 田本 祐作
    小西六写真工業株式会社工学技術研究所

書誌事項

タイトル別名
  • An Automatic Interferometric Thickness Meter
  • ハクショクコウ ノ カンショウ オ リヨウシタ ヒ セッショク マクアツケイ

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説明

An automatic white-light interferometric thickness meter, which is suitable for the measurement of moving transparent double layer films, has been developed. According to our experiment, the desiable difference of refractive indicies was more than 0.3. The measuring accuracy of thickness meter was within ±0.5 μm tolerances which satisfied our intension.

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